[发明专利]一种改进型单晶硅棒切断机

权利要求书

1.一种改进型单晶硅棒切断机,其包括切割部分、进给部分、夹具，所述切割部分通过连接板连接所述进给部分，所述夹具支承于所述进给部分上端，其特征在于：所述进给部分包括X轴进给机构、Z轴偏移机构，所述X轴进给机构、Z轴偏移机构外露端各自连接其对应的驱动装置；所述X轴进给机构包括X轴伺服电机、X轴联轴器、X轴滚珠丝杆、X轴轴承座、X轴直线导轨，所述X轴伺服电机输出端通过所述X轴联轴器连接所述X轴滚珠丝杆的输入端，所述X轴滚珠丝杆支承于所述X轴轴承座内，所述X轴轴承座和所述X轴伺服电机都支承于所述进给部分的机座，所述X轴滚珠丝杆通过丝杆螺母连接其上部的X轴滑板，X轴直线导轨支承于所述机座，所述X轴滑板的底部与所述X轴直线导轨配合连接；所述Z轴偏移机构包括Z轴伺服电机、Z轴联轴器、Z轴滚珠丝杆、Z轴轴承座、Z轴直线导轨，所述Z轴伺服电机输出端通过所述Z轴联轴器连接所述Z轴滚珠丝杆的输入端，所述Z轴滚珠丝杆支承于所述Z轴轴承座内，所述Z轴轴承座支承于所述X轴滑板，所述Z轴伺服电机支承于所述X轴滑板，所述Z轴滚珠丝杆通过丝杆螺母连接其上部的Z轴滑板，Z轴直线导轨支承于所述X轴滑板，所述Z轴滑板的底部与所述Z轴直线导轨配合连接。

2.根据权利要求1所述一种改进型单晶硅棒切断机，其特征在于：所述Z轴滑板开有Z轴向的燕尾槽，燕尾上导轨和所述燕尾槽配合安装，所述夹具支承于所述燕尾上导轨，所述燕尾上导轨的一端连接有Z轴向的进给油缸。

3.根据权利要求2所述一种改进型单晶硅棒切断机，其特征在于：所述夹具包括上支架、下支架，所述下支架紧固连接所述燕尾上导轨，所述上支架、下支架两端部分别配合连接，所述连接后的上支架、下支架的内端空腔内安装有夹紧块，所述夹紧块的非夹持端面连接关节轴承，所述关节轴承安装于轴承座内部，所述轴承座安装于所述上支架或下支架所开的安装通孔内，所述轴承座通过连接件连接外部驱动件。

4.根据权利要求3所述一种改进型单晶硅棒切断机，其特征在于：所述上支架、下支架的一端沿着夹持的单晶硅棒长度方向上分别开有对应的通孔，所述上支架、下支架嵌套对应连接后，销轴通过其对应的通孔连接所述上支架、下支架。

5.根据权利要求4所述一种改进型单晶硅棒切断机，其特征在于：所述上支架的另一端开有垂直其连接端面的通孔，所述下支架的另一端开有安装槽，螺栓的头部位于所述安装槽内，所述螺栓的头部通过销轴连接于所述下支架，所述螺栓的螺栓部分贯穿所述上支架的另一端的通孔后，其螺栓端部安装有旋转手把。

6.根据权利要求5所述一种改进型单晶硅棒切断机，其特征在于：所述夹紧块的非夹持端面通过连接支架连接连接关节轴承。

7.根据权利要求6所述一种改进型单晶硅棒切断机，其特征在于：所述外部驱动件具体为径向端旋转手把、所述连接件具体为连接轴，所述连接轴一端连接所述轴承座，所述连接轴另一端连接所述径向端旋转手把。