[发明专利]固体摄像装置、照相机以及制造固体摄像装置的方法

摘要

本发明提供了一种固体摄像装置、照相机以及制造该固体摄像装置的方法。该固体摄像装置包括：多个光电转换单元，被构造成由在其光接收面上接收的光生成信号电荷，多个光电转换单元设置在基板的图像传感区域中；电荷读取单元，被构造成读取由光电转换单元生成的信号电荷，其电荷读出沟道区域设置在基板的图像传感区域中；转移寄存器单元，被构造成转移通过电荷读取单元从多个光电转换单元读取的信号电荷，其电荷转移沟道区域设置在基板的图像传感区域中；以及遮光单元，设置在基板的图像传感区域中，并且具有在对应于各个光电转换单元的光接收面的区域中形成的通过其传输光的开口。

主权项

一种固体摄像装置，包括：多个光电转换单元，被构造成由在其光接收面上接收的光生成信号电荷，所述多个光电转换单元设置在基板的图像传感区域中；电荷读取单元，被构造成读取由所述光电转换单元生成的信号电荷，其电荷读出沟道区域设置在所述基板的所述图像传感区域中；转移寄存器单元，被构造成转移通过所述电荷读取单元从所述多个光电转换单元读取的信号电荷，其电荷转移沟道区域设置在所述基板的所述图像传感区域中；以及遮光单元，设置在所述基板的所述图像传感区域中，并且具有在对应于各个光电转换单元的光接收面的区域中形成的通过其传输光的开口，其中，所述转移寄存器单元在所述基板的所述图像传感区域中包括：转移电极，通过设置在其间的栅极绝缘膜而与所述电荷转移沟道区域和所述电荷读出沟道区域相对，其中，所述遮光单元包括：导电性遮光膜，覆盖所述基板的所述图像传感区域中的所述转移电极，利用导电材料形成，使得包括通过设置在其间的所述栅极绝缘膜而与所述电荷读出沟道区域相对的部分，并且被电连接至所述转移电极，并且其中，在所述电荷读取单元中，形成所述转移电极和所述导电性遮光膜作为电荷读取电极，并且从所述光电转换单元读取信号电荷。