[发明专利]用于生产硅石坩埚的设备有效
| 申请号: | 200910171537.3 | 申请日: | 2009-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN101660199A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
| 发明(设计)人: | 佐藤贤 | 申请(专利权)人: | 日本特级石英株式会社 |
| 主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06;C03B20/00 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 臧建明 |
| 地址: | 日本秋田县秋*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明公开了一种用于生产硅石坩埚的设备,所述设备包括适合于通过旋转模具方法生产所述硅石坩埚的碳模具,所述碳模具具有不大于125W/(m·K)的导热性。本发明提供的用于生产硅石坩埚的设备,碳模具与常规碳模具相比导热性较低,使得有可能甚至在所使用的硅石或石英粉的量与常规生产设备相比减少的情况下,在坩埚的外表面上容易地形成具有给定厚度的烧结层。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 生产 硅石 坩埚 设备 | ||
【主权项】:
1.一种用于生产硅石坩埚的设备,包括用于通过旋转模具方法生产所述硅石坩埚的碳模具,其特征在于,所述碳模具具有不大于125W/(m·K)的导热性。
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