[发明专利]用于生产硅石坩埚的设备有效
| 申请号: | 200910171537.3 | 申请日: | 2009-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN101660199A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
| 发明(设计)人: | 佐藤贤 | 申请(专利权)人: | 日本特级石英株式会社 |
| 主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06;C03B20/00 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 臧建明 |
| 地址: | 日本秋田县秋*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 生产 硅石 坩埚 设备 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于生产硅石坩埚的设备,包括用于通过旋转模具方法生产所述 硅石坩埚的碳模具,其特征在于,所述碳模具整体上具有不小于70W/(m·K) 且不大于125W/(m·K)的导热性。
2.根据权利要求1所述的用于生产硅石坩埚的设备,其中,所述碳模具 具有不大于1.6g/cm3的毛体积比重。
3.根据权利要求2所述的用于生产硅石坩埚的设备,其中,所述碳模具 具有不小于1.3g/cm3的毛体积比重。
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