[发明专利]用于检测图案化基板的缺陷的方法及系统有效
| 申请号： | 200910150940.8 | 申请日： | 2009-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101819165A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 史伟杰;李惠芬;林晓峰;郭峰;郭晓锋 | 申请（专利权）人： | 圣戈本玻璃法国公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/896 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邹姗姗 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检测透明或半透明的图案化或结构化基板上或其内的缺陷的系统和方法。所述系统包括：至少一个成像元件，用于对所述基板进行扫描；第一光源，其靠近所述基板放置，用于向所述基板照射漫射光，该第一光源与所述至少一个成像元件构成关于所述基板的第一检测通道；以及传送装置，用于使得所述基板与所述至少一个成像元件和所述第一光源之间产生相对移动。本发明中采用了近距离漫射模式照明图案化基板，从而有效地消除了基板中图案或结构对原始图像的影响、突出了缺陷，因而容易地且精确地识别和分类局部缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 图案 化基板 缺陷 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于检测透明或半透明的图案化或结构化基板的局部缺陷的系统，包括：至少一个成像元件，用于对所述基板进行扫描；第一光源，其靠近所述基板放置，用于向所述基板照射漫射光，该第一光源与所述至少一个成像元件构成关于所述基板的第一检测通道；以及传送装置，用于使得所述基板与所述至少一个成像元件和所述第一光源之间产生相对移动。
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