[发明专利]用于检测图案化基板的缺陷的方法及系统

权利要求书

1.一种用于检测透明或半透明的图案化或结构化基板的局部缺 陷的系统，包括：

至少一个成像元件，用于对所述基板进行扫描；

第一光源，其靠近所述基板放置，用于向所述基板照射漫射光， 该第一光源与所述至少一个成像元件构成关于所述基板的第一检测 通道；

传送装置，用于使得所述基板与所述至少一个成像元件和所述第 一光源之间产生相对移动；

一个或多个第三光源，其与所述第一光源位于所述基板的同一 侧，该一个或多个第三光源与所述至少一个成像元件构成关于所述基 板的不同于所述第一检测通道的至少一个第三检测通道；

设置在所述一个或多个第三光源中的每一个与所述基板之间的 第一偏振元件，所述第三光源发出的光经该第一偏振元件后成为沿一 起偏方向的线偏振光；以及

设置在所述至少一个成像元件中的每一个与所述基板之间的第 二偏振元件，该第二偏振元件的偏振方向与所述起偏方向垂直。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，第一光源以对所述基板 提供基本上均匀的漫射照明的方式相对于该基板放置。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一光源包括一个 或多个子光源，所述一个或多个子光源沿基板的传送方向对齐或彼此 错开，并分别与所述至少一个成像元件中的一个或多个对准。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的系统，还包括：

一个或多个第二光源，用于相对于所述至少一个成像元件中的一 个或多个向所述基板提供不同于所述第一光源的模式的照明，该一个 或多个第二光源与所述至少一个成像元件构成关于所述基板的不同 于所述第一检测通道的至少一个第二检测通道。

5.根据权利要求4所述的系统，还包括：

控制装置，用于控制所述至少一个成像元件以及所述第一光源和 所述一个或多个第二光源的操作，使得第一光源和第二光源不同时接 通，并使得所述至少一个成像元件中的至少一个在所述基板被照明时 对该基板进行扫描。

6.根据权利要求5所述的系统，其中，

所述控制装置还将所述基板每移动距离的时长计算为一个工 作周期，并控制所述至少一个成像元件中每一个的曝光时间以及所述 第一光源和所述一个或多个第二光源中每一个的照明时间使得在该 工作周期内完成对所述基板的所有通道的检测，其中P为所述至少一 个成像元件的像素宽度，而M为所述至少一个成像元件的成像倍率。

7.根据权利要求5所述的系统，所述一个或多个第二光源包括 一个准直照明光源，其与所述第一光源分别位于所述基板的两侧，其 中，所述准直照明光源相对于所述至少一个成像元件中的至少一个， 对所述基板提供暗场反射照明，并且，

所述控制装置进行控制，使得所述第一光源与所述准直照明光源 不同时接通，并使得所述至少一个成像元件中的至少一个在第一光源 或准直照明光源接通时对所述基板进行扫描。

8.根据权利要求1所述的系统，还包括：

控制装置，用于控制所述至少一个成像元件以及所述第一光源和 所述一个或多个第三光源的操作，使得第一光源和第三光源不同时接 通，并使得所述至少一个成像元件中的至少一个在所述基板被照明时 对该基板进行扫描。

9.根据权利要求5所述的系统，还包括：

一个或多个第三光源，其与所述第一光源位于所述基板的同一 侧，该一个或多个第三光源与所述至少一个成像元件构成关于所述基 板的不同于所述第一检测通道的至少一个第三检测通道；

设置在所述一个或多个第三光源中的每一个与所述基板之间的 第一偏振元件，所述第三光源发出的光经该第一偏振元件后成为沿一 起偏方向的线偏振光；以及

设置在所述至少一个成像元件中的每一个与所述基板之间的第 二偏振元件，该第二偏振元件的偏振方向与所述起偏方向垂直，其中，

所述控制装置进行控制，使得所述第一光源、第二光源以及第三 光源三者均不同时接通，并使得所述至少一个成像元件中的至少一个 在所述基板被照明时进行扫描。