[发明专利]多光源并行共焦显微探测系统

摘要

本发明涉及多光源并行共焦显微探测系统，包括有多个激光器，多个激光器的出光口处安装有合束器，合束器的出光口前方设有准直透镜，合束器的出光口位于准直透镜一侧的焦点处，准直透镜另一侧设有微透镜阵列，微透镜阵列的光路前方设有分光镜、第一望远物镜和第二望远物镜，分光镜反射面的一侧还设置有面阵CCD；还包括有可移动的工作台，工作台上固定有光栅尺，其位于第二望远物镜的光路上，被测物面放置于工作台上并随工作台一起移动。本发明通过采用多种波长的激光器构建并行共焦探测系统的合成光源，在保证激光并行共焦系统分辨率以及测量速度的前提下，克服了泰伯效应的影响，实现了大量程的高精度测量，从而扩大了并行共焦探测系统的应用范围。

主权项

1、多光源并行共焦显微探测系统，包括有并行共焦探测系统，所述并行共焦探测系统包括准直透镜，所述准直透镜光路前方依次设置有微透镜阵列、分光镜、第一望远物镜、第二望远物镜及被测物面，所述分光镜反射面的一侧还设置有面阵CCD；其特征在于：还包括多个并行放置的激光器，在多个激光器的出光口安装有合束器，所述合束器将多种不同波长的激光束集合成一束以扩大泰伯间距，所述合束器的出光口位于所述准直透镜的焦点处；从多个激光器发出的光经过合束器合束后，在准直透镜的焦点处出射，出射光被准直透镜扩展后平行入射至微透镜阵列，经微透镜阵列会聚成点光源阵列，点光源阵列发出的光依次经过分光镜、第一望远物镜后平行出射，再经过第二望远物镜后会聚于放置在工作台的被测物面上，被测物面上的反射光按照光路可逆原理反射至分光镜，并被分光镜反射至面阵CCD。