[发明专利]多光源并行共焦显微探测系统无效
| 申请号： | 200910145072.4 | 申请日： | 2009-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101666620A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 余晓芬;余卿;王永红;刘文文 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230009安徽省合肥市屯溪路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光源 并行 显微 探测 系统 | ||
【权利要求书】：
1、多光源并行共焦显微探测系统，包括有并行共焦探测系统，所述并行共焦探测系统包括准直透镜，所述准直透镜光路前方依次设置有微透镜阵列、分光镜、第一望远物镜、第二望远物镜及被测物面，所述分光镜反射面的一侧还设置有面阵CCD；其特征在于：还包括多个并行放置的激光器，在多个激光器的出光口安装有合束器，所述合束器将多种不同波长的激光束集合成一束以扩大泰伯间距，所述合束器的出光口位于所述准直透镜的焦点处；从多个激光器发出的光经过合束器合束后，在准直透镜的焦点处出射，出射光被准直透镜扩展后平行入射至微透镜阵列，经微透镜阵列会聚成点光源阵列，点光源阵列发出的光依次经过分光镜、第一望远物镜后平行出射，再经过第二望远物镜后会聚于放置在工作台的被测物面上，被测物面上的反射光按照光路可逆原理反射至分光镜，并被分光镜反射至面阵CCD。
2、根据权利要求1所述的多光源并行共焦显微探测系统，其特征在于：所述微透镜阵列的口径尺寸满足所述准直透镜扩展后的平行光能够充满微透镜阵列。
3、根据权利要求1所述的多光源并行共焦显微探测系统，其特征在于：所述微透镜阵列为42×42的微透镜阵列。
4、根据权利要求1所述的多光源并行共焦显微探测系统，其特征在于：所述三个并行放置的激光器的波长分别为650nm、473nm和405nm。
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