[发明专利]研磨状态评估方法有效
| 申请号： | 200910143049.1 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101898319A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 吴崇勇 | 申请（专利权）人： | 中国钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/37 | 分类号： | B24B5/37 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的研磨状态评估方法包括以下步骤：(a)检索振动信号；(b)计算所述振动信号的反频谱，所述反频谱具有多个反谐波；(c)移除所述反谐波的低反频率部分；(d)根据振幅阈值移除所述反谐波的能量低于所述振幅阈值部分；(e)根据设定反谐波计算数目的反谐波和所述反谐波的设定间隔，计算反频谱波信号；以及(f)根据所述反频谱波信号评估所述研磨状态。借此，本发明可准确地计算出研磨装置的研磨转速、简化研磨颤振监测系统并减少感测器(转速计)数量、布线和线路维护成本，且可评估所述研磨装置是否接触所述工件。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 状态 评估 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨状态评估方法，其用以评估研磨装置研磨工件时的研磨状态，所述研磨状态评估方法包括以下步骤：(a)检索振动信号；(b)计算所述振动信号的反频谱，所述反频谱具有多个反谐波；(c)移除所述反谐波的低反频率部分；(d)根据振幅阈值移除所述反谐波的能量低于所述振幅阈值部分；(e)根据设定反谐波计算数目的反谐波和所述反谐波的设定间隔，计算反频谱波信号；以及(f)根据所述反频谱波信号评估所述研磨状态。
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