[发明专利]研磨状态评估方法

权利要求书

1.一种研磨状态评估方法，其用以评估研磨装置研磨工件时的研磨状态，所述研磨状态评估方法包括以下步骤：

(a)检索振动信号；

(b)计算所述振动信号的反频谱，所述反频谱具有多个反谐波；

(c)移除所述反谐波的低反频率部分；

(d)根据振幅阈值移除所述反谐波的能量低于所述振幅阈值部分；

(e)根据设定反谐波计算数目的反谐波和所述反谐波的设定间隔，计算反频谱波信号；以及

(f)根据所述反频谱波信号评估所述研磨状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在步骤(e)中如果所述反频谱波信号不具等间隔分布的反谐波峰值，那么在步骤(f)中将所述研磨状态评估为所述研磨装置不接触所述工件。

3.根据权利要求2所述的方法，其中在步骤(a)中，从所述研磨装置或所述工件检索所述振动信号。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述研磨状态显示所述研磨装置的研磨转速，在步骤(a)中检索所述振动信号经历检索时间区间，在步骤(e)中所述反频谱波信号具有多个反谐波峰值，在步骤(f)中根据所述反谐波峰值对应所述检索时间区间的检索时间评估所述研磨转速。

5.根据权利要求4所述的方法，其中在步骤(a)中，从所述研磨装置或所述工件检索所述振动信号。

6.根据权利要求4所述的方法，其中所述研磨装置具有最低可能研磨转速和最高可能研磨转速。

7.根据权利要求6所述的方法，其另外包括根据所述最高可能研磨转速计算低反频率截断阀值，在步骤(c)中将低于所述低反频率截断阀值的反频谱值设为0，以移除所述反谐波的低反频率部分。

8.根据权利要求4所述的方法，其中在步骤(d)中根据所述反谐波的反振幅均方根值计算所述振幅阈值。

9.根据权利要求8所述的方法，其中在步骤(d)中将所述反谐波的反振幅低于所述振幅阈值部分设为0。

10.根据权利要求6所述的方法，其另外包括根据所述最低可能研磨转速和所述最高可能研磨转速计算频谱识别范围的步骤。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述频谱识别范围介于所述最高可能研磨转速的倒数与所述最低可能研磨转速的倒数之间。

12.根据权利要求11所述的方法，其中在步骤(e)中，所述反谐波峰值位于所述频谱识别范围内。

13.根据权利要求6所述的方法，其中在步骤(e)中根据所述最低可能研磨转速、所述最高可能研磨转速和所述振动信号的取样率，计算所述反谐波的所述设定间隔，其中所述设定间隔为整数，且所述设定间隔介于所述取样率与所述最高可能研磨转速的比值和所述取样率与所述最低可能研磨转速的比值之间。

14.根据权利要求13所述的方法，其中在步骤(e)中所述设定反谐波计算数目为4，所述反谐波的所述设定间隔为1到4。

15.根据权利要求4所述的方法，其中在步骤(e)中，所述反谐波峰值呈等间隔分布。

16.根据权利要求4所述的方法，其中在步骤(f)中，所述反谐波峰值对应所述检索时间区间的所述检索时间为所述研磨转速倒数的整数倍。

17.根据权利要求4所述的方法，其中步骤(e)另外包括定义峰值匹配函数的步骤，用以计算所述反谐波峰值产生的数目和位置。