[发明专利]工件特性测定装置及工件特性测定方法有效

专利信息
申请号: 200910139333.1 申请日: 2009-04-30
公开(公告)号: CN101571565A 公开(公告)日: 2009-11-04
发明(设计)人: 山内隆幸;小岛智幸;齐藤修一 申请(专利权)人: 东京威尔斯股份有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00;G01R1/067
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 何欣亭;徐予红
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 可确保探针与工件的电极之间充分的电气接触,且较小地抑制工件的电极上产生的损伤。工件特性测定装置(1)具备:具有工件收容孔(4)的传送台(3);可与收容在工件收容孔(4)内的工件(W)的电极(Wa、Wb)抵接的一对探针(7、6);传送台(3)的传送体驱动装置(3a);以及驱动一个探针(7)的探针驱动机构(12)。传送体驱动装置(3a)和探针驱动机构(12)受控制装置(20)的控制。该场台,当工件收容孔(4)来到一对探针(7、6)跟前的第一设定位置(S1)时,至少一个探针(7)因探针驱动机构(12)而向工件收容孔(4)前进,当工件收容孔(4)来到与一对探针(7、6)对应的第二设定位置(S2)时,一个探针(7)从工件收容孔(4)后退。
搜索关键词: 工件 特性 测定 装置 方法
【主权项】:
1.一种工件特性测定装置,其特征在于包括:具有多个贯通的工件收容孔的传送体,在各工件收容孔内收容具有朝着工件收容孔的贯通方向外方的一对电极的工件;驱动该传送体的传送体驱动装置;设置在传送体两侧的、各自可抵接到收容在工件收容孔内的工件电极的一对探针;至少使一个探针相对工件收容孔进出的探针驱动机构;以及控制传送体驱动装置及探针驱动机构,使一对探针在对应的工件的电极上滑动并抵接的控制装置。
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