[发明专利]检测等离子体非约束的方法和装置无效
| 申请号： | 200910137287.1 | 申请日： | 2009-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN101571477A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 金基占;安德鲁·D·贝利三世;金允上 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李丙林;吴贵明 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种检测斜角边沿清洁操作过程中反应室内的等离子体非约束的方法。该方法开始于选定与斜角边沿清洁工艺的期望副产品有关的波长。该方法包括清洁基板的该斜角边沿区域，及在该清洁过程中，监视该选定的波长对一波长强度的偏离。如果对该波长强度的该偏离超过目标偏离，则终止该清洁过程。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 等离子体 约束 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测斜角边沿清洁操作过程中反应室内的等离子体非约束的方法，该方法包含：选定与斜角边沿清洁工艺的期望副产品有关的波长；清洁基板的该斜角边沿区域；在该清洁过程中，监视该选定的波长对一波长强度的偏离；如果对该波长强度的该偏离超过目标偏离，则终止该清洁。
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