[发明专利]干涉振动位移决定方法、振动频率决定方法和干涉装置无效
| 申请号： | 200910137132.8 | 申请日： | 2009-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN101881600A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 陈金亮;陈亮嘉;黄焕祺;连俊泰;邹永桐;赖皇文 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院;陈亮嘉 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/25;G01B9/02;G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种干涉振动位移决定方法、振动频率决定方法和干涉装置。该干涉振动位移决定方法透过具有相位差的高相干干涉图案上的光信号，取得待测物与干涉装置上的参考面之间的位置偏移量。利用前述的方法重复进行多次的测量之后，建立出偏移量与时间的关系序列，再根据该序列决定出该待测物的振动频率。在另一实施例中，披露干涉装置，其利用光学干涉条纹判定的技术，即时计算出待测物与干涉装置上的参考面的相对位置，进而即时补偿干涉装置受到振动时的影响，以得到待测物表面形貌与振动频率。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 振动 位移 决定 方法 频率 装置 | ||
【主权项】：
一种干涉振动位移决定方法，其包括下列步骤：调制至少一光源使其同时产生具有同光路的至少一高相干性侦测光以及至少一低相干性侦测光；将该至少一高相干性侦测光以及至少一低相干性侦测光经由干涉装置投射至待测物上；撷取关于该待测物的高相干性干涉图案；以及根据该高相干性干涉图案上的特定区域上所具有的光强度进行演算以得到该待测物与该干涉装置上的参考平面之间的相对位移量。
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