[发明专利]干涉振动位移决定方法、振动频率决定方法和干涉装置

权利要求书

1.一种干涉振动位移决定方法，其包括下列步骤：

调制至少一光源使其同时产生具有同光路的至少一高相干性侦测光以及至少一低相干性侦测光；

将该至少一高相干性侦测光以及至少一低相干性侦测光经由干涉装置投射至待测物上；

撷取关于该待测物的高相干性干涉图案；以及

根据该高相干性干涉图案上的特定区域上所具有的光强度进行演算以得到该待测物与该干涉装置上的参考平面之间的相对位移量。

2.如权利要求1所述的干涉振动位移决定方法，其中该特定区域具有光信号。

3.如权利要求1所述的干涉振动位移决定方法，其中该特定区域具有两光信号且两光信号间具有相位差。

4.如权利要求3所述的干涉振动位移决定方法，其中该相位差为九十度。

5.如权利要求1所述的干涉振动位移决定方法，其还包括有下列步骤：

撷取该待测物的低相干干涉图案；以及

根据该相对位移量求得该低相干干涉图案的实际撷取位置。

6.如权利要求1所述的干涉振动位移决定方法，其中调制该低相干光源的方式为使该低相干光源通过带通滤波元件。

7.一种振动频率决定方法，其包括下列步骤：

调制至少一光源使其同时产生具有同光路的至少一高相干性侦测光以及一至少低相干性侦测光；

将该至少一高相干性侦测光以及至少一低相干性侦测光经由干涉装置投射至待测物上；

撷取关于该待测物的高相干性干涉图案；

根据该高相干性干涉图案上的特定区域上所具有的光强度进行演算以得到该待测物与该干涉装置上的参考平面之间的相对位移量；

重复执行前述四步骤多次以建立出相对位移量与时间的关系序列；以及

对该关系序列进行频谱分析以决定出该待测物的振动频率。

8.如权利要求7所述的振动频率决定方法，其中该特定区域具有光信号。

9.如权利要求7所述的振动频率决定方法，其中该特定区域具有两光信号且两光信号间具有相位差。

10.如权利要求7所述的振动频率决定方法，其中该相位差为九十度。

11.如权利要求7所述的振动频率决定方法，其中调制该低相干光源的方式为使该低相干光源通过带通滤波元件。

12.一种干涉装置，包括：。

光源模块，其调制至少一光源以同时形成具有同光路的至少一高相干性侦测光以及至少一低相干性侦测光；

光学干涉模块，其导引该光源模块所产生的该高相干性侦测光以及该低相干性侦测光投射至待测物上，并干涉以形成干涉图案；

信号撷取单元，其撷取该干涉图案中的特定区域属于高相干性干涉的光信号；

运算单元，其与该信号撷取单元相耦接，该运算单元对该光信号进行演算以得到该待测物与该干涉装置上的参考平面之间的相对位移量；以及

第一影像撷取元件，其撷取该干涉图案所形成的影像。

13.如权利要求12所述的干涉装置，其中该干涉图案具有至少一高相干性干涉图案以及至少一低相干性干涉图案。

14.如权利要求12所述的干涉装置，其中该光源模块还具有：

光源体，其产生该光源；

多个透镜元件，其接收该低相干光源所产生的光；以及

带通滤波元件，其设置于该多个透镜元件之间以将该低相干光源产生的光调制成具有至少一高相干性侦测光以及至少一低相干性侦测光。

15.如权利要求12所述的干涉装置，其中该光源模块还具有：

第一光源，其产生低相干光；

第二光源，其产生高相干光；

光纤偶合元件，其与该第一光源以及该第二光源偶接，以将该低相干光与高相干光耦合至同一光路上；

多个透镜元件，其设置于该光路上；以及

带通滤波元件，其设置于该多个透镜元件之间以对该低相干光进行空间调制而形成该高相干性侦测光以及该低相干性侦测光，该高相干性侦测光环布于该低相干性侦测光的外围。

16.如权利要求15所述的干涉装置，其中该第一光源为白光二极管光源或卤素光源。