[发明专利]化学放大型正性抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200910135319.4 | 申请日： | 2009-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101566797A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 藤裕介;重松淳二;宫川贵行;安藤信雄;武元一树 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴亦华;徐一琨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种化学放大型抗蚀剂组合物，所述组合物包含树脂(A)、树脂(B)和产酸剂，所述树脂(A)不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，所述树脂(B)含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，其中基于所述树脂(B)的所有单元，所述结构单元(b1)的含量低于10摩尔％。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 正性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，所述组合物包含：树脂(A)，其不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，树脂(B)，其含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，和产酸剂，其中基于所述树脂(B)的所有单元，所述结构单元(b1)的含量低于10摩尔％。
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