[发明专利]化学放大型正性抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，所述组合物包含：

树脂(A)，其不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，

树脂(B)，其含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，和

产酸剂，其中基于所述树脂(B)的所有单元，所述结构单元(b1)的含量低于10摩尔％。

2.根据权利要求1的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中基于所述树脂(B)的所有单元，所述结构单元(b1)的含量为0.5摩尔％或更高但低于10摩尔％。

3.根据权利要求1的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述树脂(A)除所述结构单元(a1)外还含至少一种选自有羟基的结构单元(a3)和有内酯结构的结构单元(a4)的结构单元。

4.根据权利要求3的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述树脂(A)除所述结构单元(a1)外还含所述结构单元(a3)和所述结构单元(a4)。

5.根据权利要求1的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述树脂(B)除所述结构单元(b2)外还含所述结构单元(b1)。

6.根据权利要求1的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述结构单元(a1)和(b1)独立地代表式(Ia)所代表的结构单元：

其中R¹代表氢原子或甲基，R²代表C1-C8烷基，R³代表甲基，n代表0-14的整数，Z¹代表单键或-(CH₂)_k-COO-基团，k代表1-4的整数，

或式(Ib)所代表的结构单元：

其中R⁴代表氢原子或甲基，R⁵代表C1-C8烷基，R⁶和R⁷各自独立地代表氢原子或可含至少一个杂原子的一价C1-C8烃基，R⁶和R⁷可彼此连接而与连接R⁶的碳原子和连接R⁷的碳原子一起形成环，或者R⁶和R⁷可彼此连接而在连接R⁶的碳原子和连接R⁷的碳原子间形成双键，m代表1-3的整数，Z²代表单键或-(CH₂)_k’-COO-基团，k’代表1-4的整数。

7.根据权利要求1的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述结构单元(b3)代表式(IIb)所代表的结构单元：

其中R⁸代表氢原子或甲基，R⁹和R¹⁰各自独立地代表氢原子、甲基或羟基，R¹¹代表甲基，n’代表0-12的整数，Z³代表单键或-(CH₂)_q-COO-基团，q代表1-4的整数。

8.根据权利要求3的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述结构单元(a3)代表式(IIa)所代表的结构单元：

其中R¹²代表氢原子或甲基，R¹³和R¹⁴各自独立地代表氢原子、甲基或羟基，R¹⁵代表甲基，n”代表0-12的整数，Z⁴代表单键或-(CH₂)_q’-COO-基团，q’代表1-4的整数。