[发明专利]基片托板系统与用于抛光基片的方法无效
| 申请号： | 200910135152.1 | 申请日： | 2002-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101524826A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 户川哲二 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;H01L21/304;B24B49/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄永杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基片托板系统，其包括：基片托板，其包括保持环，该保持环用于夹持基片，并将基片定位，以便在抛光过程中使基片的表面与抛光表面接触，所述基片托板还包括连接到所述保持环上的基片托板主体装置；基片托板驱动轴，其与所述基片托板连接，用于驱动、上升和下降所述基片托板；滚珠丝杠和滚珠螺母，该滚珠丝杠和滚珠螺母与所述基片托板驱动轴连接；脉冲马达，其与所述滚珠丝杠接合，用于将所述基片托板上升和下降到所希望的垂直位置；流体压力源，其向基片上方供给增压流体；和控制装置，其用于通过所述脉冲马达、所述滚珠丝杠和所述滚珠螺母固定所述基片托板的垂直位置，直到所述基片托板被固定在所希望的垂直位置，并向所述基片上方导入增压流体，将基片压贴到所述抛光表面。 | ||
| 搜索关键词： | 基片托板 系统 用于 抛光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基片托板系统，其包括：基片托板，其包括保持环，该保持环用于夹持基片，并将基片定位，以便在抛光过程中使基片的表面与抛光表面接触，所述基片托板还包括连接到所述保持环上的基片托板主体装置；基片托板驱动轴，其与所述基片托板连接，用于驱动、上升和下降所述基片托板；滚珠丝杠和滚珠螺母，该滚珠丝杠和滚珠螺母与所述基片托板驱动轴连接；脉冲马达，其与所述滚珠丝杠接合，用于将所述基片托板上升和下降到所希望的垂直位置；流体压力源，其向基片上方供给增压流体；和控制装置，其用于通过所述脉冲马达、所述滚珠丝杠和所述滚珠螺母固定所述基片托板的垂直位置，直到所述基片托板被固定在所希望的垂直位置，并向所述基片上方导入增压流体，将基片压贴到所述抛光表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910135152.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：集成式空气储罐
- 下一篇：装拆激光喷嘴的机械设备及具有这种设备的激光加工机械
