[发明专利]光波导有效
| 申请号： | 200910126377.0 | 申请日： | 2007-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101498813A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 邵鸣达;俞国庆;徐琴琴;王文龙;王蔚 | 申请（专利权）人： | 晶方半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘诚午;李 丽 |
| 地址： | 215126江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆级光波导及其制造方法，利用半导体集成电路制造工艺，能够制造出接触面光滑、厚度均匀且端面为任意角度镜面的微米级光波导，同时大幅度降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 | ||
【主权项】：
1、一种光波导，包括基底和基底上的限制层，所述限制层中具有凹槽，凹槽两侧的端面为斜面，至少在所述斜面表面具有反射镜面层，在所述凹槽中包括芯层，在所述芯层的表面具有包层；所述包层包括位于芯层上表面的第一包层和位于芯层下表面的第二包层；所述第二包层位于所述基底和所述限制层之间。
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