[发明专利]适应基片交接位置误差的机械手传递装置

摘要

本发明公开了一种适应基片交接位置误差的机械手传递装置，由机械手和与之配套的基片托构成，其特点是在机械手的腕部安装了变远心顺应机构，该变远心顺应机构能够自动调整和适应机械手前部取托指和基片托配位时的位置误差，从而顺利完成基片的传递交接，因此采用本发明进行基片的传递，可减少监控元件的使用数量，同时简化整套机械传递装置的自动控制系统，从而大大降低设备制造和使用成本，并可显著提高镀膜产品的质量和成品率。

主权项

1.一种适应基片交接位置误差的机械手传递装置，包括机械手和与之配套的基片托，其特征在于：所述机械手的腕部由底板(1)，及固定在底板(1)上的机械臂连接架(2)和变远心顺应机构构成，该变远心顺应机构呈左右对称结构，包括左、右支撑架(3、4)、移动梁(5)、转角梁(6)、两平行布置的连杆(7)、两倾斜布置的连杆(8)、两前压簧(9)、两后压簧(10)和两拉簧(11)；左、右支撑架(3、4)固定在底板(1)上，移动梁(5)横向布置在左、右支撑架(3、4)之间，而转角梁(6)与移动梁(5)垂直；两平行布置的连杆(7)的一端均铰接在移动梁(5)上，而另一端则分别铰接在左、右支撑架(3、4)上；两倾斜布置的连杆(8)位于两平行布置的连杆(7)之间，它们的一端分别固联有小轴(12)并通过小轴(12)铰接在移动梁(5)中部设有的两个对称倾斜的长圆孔(501)内，而另一端则分别设有长圆孔并通过长圆孔同固联在转角梁(6)头部上的两个小轴(22)铰接；两前压簧(9)的一端分别安装在设于左、右支撑架(3、4)前部的两个弹簧座(13)上，而另一端则抵设在转角梁(6)头部两侧；两后压簧(10)的一端分别安装在设于左、右支撑架(3、4)后部的两个弹簧座上，而另一端则抵设在开设于移动梁(5)两端的两个圆盲孔(502)底端；两拉簧(11)的一端共同连接在设于转角梁(6)尾端的拉簧座(14)上，而另一端则分别同设于移动梁(5)后部两侧两个延伸柄(503)上的拉簧座(15)连接；所述机械手的手指部为固定在转角梁(6)前端的取托指(16)，该取托指(16)前端设有沿变远心顺应机构的中轴线延伸的开口长槽(161)；所述基片托包括托盘(17)，该托盘(17)上固接有两个可抵入开口长槽(161)内的定位桩，并且这两个定位桩的顶部均设有可卡止在开口长槽(161)上表面上的凸台。