[发明专利]适应基片交接位置误差的机械手传递装置

权利要求书

1.一种适应基片交接位置误差的机械手传递装置，包括机械手和与之 配套的基片托，其特征在于：

所述机械手的腕部由底板(1)，及固定在底板(1)上的机械臂连接架 (2)和变远心顺应机构构成，该变远心顺应机构呈左右对称结构，包括左、 右支撑架(3、4)、移动梁(5)、转角梁(6)、两平行布置的连杆(7)、两 倾斜布置的连杆(8)、两前压簧(9)、两后压簧(10)和两拉簧(11)；

左、右支撑架(3、4)固定在底板(1)上，移动梁(5)横向布置在左、 右支撑架(3、4)之间，而转角梁(6)与移动梁(5)垂直；两平行布置的 连杆(7)的一端均铰接在移动梁(5)上，而另一端则分别铰接在左、右支 撑架(3、4)上，两平行布置的连杆(7)平行于变远心顺应机构的中轴线； 两倾斜布置的连杆(8)位于两平行布置的连杆(7)之间，它们的一端分别 固联有小轴(12)并通过小轴(12)铰接在移动梁(5)中部设有的两个对 称倾斜的长圆孔(501)内，而另一端则分别设有长圆孔并通过长圆孔同固 联在转角梁(6)头部上的两个小轴(22)铰接，两倾斜布置的连杆(8)的 前端向着变远心顺应机构的中轴线朝内倾斜；两前压簧(9)的一端分别安 装在设于左、右支撑架(3、4)前部的两个弹簧座(13)上，而另一端则抵 设在转角梁(6)头部两侧；两后压簧(10)的一端分别安装在设于左、右 支撑架(3、4)后部的两个弹簧座上，而另一端则抵设在开设于移动梁(5) 两端的两个圆盲孔(502)底端；两拉簧(11)的一端共同连接在设于转角 梁(6)尾端的拉簧座(14)上，而另一端则分别同设于移动梁(5)后部两 侧两个延伸柄(503)上的拉簧座(15)连接；

所述机械手的手指部为固定在转角梁(6)前端的取托指(16)，该取托 指(16)前端设有沿变远心顺应机构的中轴线延伸的开口长槽(161)；

所述基片托包括托盘(17)，该托盘(17)上固接有两个可抵入开口长 槽(161)内的定位桩，并且这两个定位桩的顶部均设有可卡止在开口长槽 (161)上表面上的凸台。

2.根据权利要求1所述的适应基片交接位置误差的机械手传递装置， 其特征在于所述设于左、右支撑架(3、4)后部的两个弹簧座均为可调节伸 出长度的滑动弹簧座(20)，并且这两个滑动弹簧座(20)分别抵入移动梁 两端的两个圆盲孔(502)内。

3.根据权利要求1或2所述的适应基片交接位置误差的机械手传递装 置，其特征在于所述移动梁(5)上设有前置开口槽(504)，两平行布置的 连杆(7)和两倾斜布置的连杆(8)上与移动梁(5)铰接的一端均抵入该 前置开口槽(504)内；同时所述转角梁(6)的头部设有与移动梁(5)上 的前置开口槽(504)相对的后置开口槽，两倾斜布置的连杆(8)上与转角 梁(6)铰接的一端则抵入该后置开口槽内。

4.根据权利要求3所述的适应基片交接位置误差的机械手传递装置， 其特征在于所述机械臂连接架(2)上具有延伸至移动梁(5)上方的挡板 (201)，该挡板(201)下表面上固定有与移动梁(5)上表面接触的减摩板 (21)。

5.根据权利要求1所述的适应基片交接位置误差的机械手传递装置， 其特征在于所述开口长槽(161)的末端为半圆孔，半圆孔的上端为上大下 小的圆锥孔；同时所述托盘(17)上的两个定位桩分别是中心定位桩(18) 和转角定位桩(19)，所述中心定位桩(18)位于托盘(17)的中心，且其 上部的凸台是与取托指(16)上的圆锥孔匹配的倒锥台(181)。

6.根据权利要求1或5所述的适应基片交接位置误差的机械手传递装 置，其特征在于所述开口长槽(161)的前端具有两个呈喇叭口状的引导斜 面。

7.根据权利要求1或5所述的适应基片交接位置误差的机械手传递装 置，其特征在于所述托盘(17)上分布有若干用来卡嵌基片(23)的卡槽。

8.根据权利要求5所述的适应基片交接位置误差的机械手传递装置， 其特征在于所述中心定位桩(18)底部设有锥形孔(182)，而所述转角定位 桩(19)底部也设有锥形孔(192)。