[发明专利]多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统

摘要

多功能三维位移和形貌的激光干涉测量系统，属于光测力学、工程材料、构件变形、位移测试、形貌测量等技术领域。本发明由激光器，图像采集摄像系统，分光耦合器，分光光开关，直流电源控制器，三维激光干涉光路系统，放置试件的加载装置台，支架调节体系和计算机等组成。该测量系统可实现u、v、w三个位移场的高精度测量，位移测量灵敏度可达波长量级，并具有数字全息和电子散斑干涉两种位移测量模式，以及数字全息测量表面形貌的模式。采用支架调节体系实现多个方向自由度的调节，方便的系统成像和测量的调节，具有使用方便，结构紧凑、测量精度高等特点。系统配有相移装置，经过相移技术处理后的位移测量精度可达纳米量级。

主权项

1.一种多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统，含有激光器(1)，图像采集拍摄系统(3)，六维支架调节系统(5)，分光开关(6)，放置试件的加载装置台(7)以及计算机(8)，其特征在于：该所述的多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统还包括三维干涉光路系统(4)和分光耦合器(2)，所述的三维干涉光路系统包括场镜(18)、准直镜(20)、分光棱镜(21)和成像透镜(22)；所述的分光耦合器将激光发出的光分为参考光和物光，参考光通过准直镜(20)，再经过分光棱镜(21)入射到场镜(18)上，通过成像透镜(22)到达图像采集摄像系统(3)；所述的分光开关(6)将物光分为第一通道(13)、第二通道(14)、第三通道(15)和第四通道(16)，所述的计算机(8)通过控制线与分光开关相连接，来控制通道的开关，且每次只开通一个通道；四个通道分别与固定在套筒(12)上的平移台(17)上的四个扩束器(11)相连，且四个扩束器呈90度均匀分布；物光通过第一通道(13)到达扩束器(11)，通过扩束器(11)照射到试件(10)表面，反射光通过套筒(12)到达分光棱镜(21)，再经过场镜(18)和成像透镜(22)到达图像采集摄像系统(3)；所述的图像采集摄像系统通过数据线与计算机(8)相连，所述的六维调节系统与套筒(12)相连。