[发明专利]多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统

权利要求书

1.一种多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统，含有激光器(1)，图像采集拍摄系统(3)，六维支架调节系统(5)，分光开关(6)，放置试件的加载装置台(7)以及计算机(8)，其特征在于：该所述的多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统还包括三维干涉光路系统(4)和分光耦合器(2)，所述的三维干涉光路系统包括场镜(18)、准直镜(20)、分光棱镜(21)和成像透镜(22)；所述的分光耦合器将激光器发出的光分为参考光和物光，参考光通过准直镜(20)，再经过分光棱镜(21)入射到场镜(18)上，通过成像透镜(22)到达图像采集摄像系统(3)；所述的分光开关(6)将物光分为第一通道(13)、第二通道(14)、第三通道(15)和第四通道(16)，所述的计算机(8)通过控制线与分光开关相连接，来控制四个通道的开关，且每次只开通一个通道；四个通道分别与固定在套筒(12)上的平移台(17)上的四个扩束器(11)相连，且四个扩束器呈90度均匀分布；物光通过第一通道(13)到达与该通道相连的一个扩束器，通过此扩束器照射到四个通道均与固定在套筒(12)上的平移台(17)上的四个扩束器(11)相连，试件(10)表面，反射光通过套筒(12)到达分光棱镜(21)，再经过场镜(18)和成像透镜(22)到达图像采集摄像系统(3)；所述的图像采集摄像系统通过数据线与计算机(8)相连，所述的六维支架调节系统与套筒(12)相连。

2.按照权利要求1所述的多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统，其特征在于：所述的三维干涉光路系统(4)中还含有压电陶瓷驱动器，所述的压电陶瓷驱动器通过直流稳压电源(9)与计算机(8)相连。

3.按照权利要求2所述的多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统，其特征在于：所述的三维干涉光路系统(3)中的成像透镜(22)、场镜(18)、压电陶瓷驱动器(19)、准直镜(20)和分光棱镜(21)被封装在一个暗箱内。

4.按照权利要求2或3所述的多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统，其特征在于：所述激光器、图像采集拍摄系统、六维支架调节系统、直流稳压电源和放置试件的加载装置台全部安装在一个工作台上；所述的三维干涉光路系统固定在套筒中，套筒通过六维支架调节系统固定在工作台上。

5.按照权利要求1所述的多功能三维位移和形貌激光干涉测量系统，其特征在于：所述的六维支架调节系统(5)由升降平移台(24)、精密平移台(26)、面内旋转台(23)、俯仰台(28)和垂直面内旋转台(29)五部分组成；所述的垂直面内旋转台(29)固定在俯仰台(28)上，精密平移台(26)通过滚珠钢丝无间隙导轨连接在垂直面内旋转台(29)上，升降平移台(24)借助于燕尾槽导轨(25)和精密平移台(26)相连，面内旋转台(23)通过滑块机构和齿轮齿条锁紧机构与升降平移台(24)相连。