[发明专利]TFT-LCD阵列基板及其制造方法有效
申请号: | 200910078643.7 | 申请日: | 2009-02-27 |
公开(公告)号: | CN101819363A | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 刘翔;林承武;陈旭;谢振宇 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;H01L27/12;H01L21/84;H01L21/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 曲鹏 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法。阵列基板包括形成在基板上的栅线和数据线,所述栅线和数据线限定的像素区域内形成像素电极和薄膜晶体管,所述栅线与数据线之间形成有第一绝缘层和第二绝缘层,所述像素电极设置在所述第一绝缘层与第二绝缘层之间。本发明通过设置两层绝缘层,并将像素电极设置在两层绝缘层之间,当像素电极与公共电极线或栅线形成存储电容时,存储电容两个电极板之间的距离只是第一绝缘层的厚度,存储电容两个电极板之间的距离大大减小,因此提高了单位面积存储电容。进一步地,由于本发明采用两层绝缘层结构,可以改善绝缘层与半导体层之间形成的界面,从而可以提高TFT特性。 | ||
搜索关键词: | tft lcd 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种TFT-LCD阵列基板,包括形成在基板上的栅线和数据线,所述栅线和数据线限定的像素区域内形成像素电极和薄膜晶体管,其特征在于,所述栅线与数据线之间形成有第一绝缘层和第二绝缘层,所述像素电极设置在所述第一绝缘层与第二绝缘层之间。
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