[发明专利]一种微光机电陀螺中的桥接型声表面波换能器

摘要

本发明涉及一种微光机电陀螺中的桥接型声表面波换能器。在基底材料上制成嵌入式条状声光波导区域，还设置有压焊电极、叉指电极以及桥连电极；叉指电极的电极结构分成两组，分别位列于声光波导区域的上下两侧，其间距小于6个声波波长，两组叉指电极之间通过桥连电极相连穿越声光波导区域。当对上下两组声表面波叉指电极间施加了驱动电源时将产生声表面波，声光波导区域的声波场与叉指电极区域的完全均匀一致，使得声光波导区域的声波导没有声场突变。本发明的桥接型声表面波换能器，在保持声光作用区声波场不变的前提下，采用桥连的形式来减少通过声光波导的金属电极面积，既可保持声波场的性质，又可有效地降低金属电极对光波的吸收。

主权项

1、一种微光机电陀螺中的桥接型声表面波换能器，其特征在于，在基底材料上采用光刻、镀膜、扩散或刻蚀工艺制成嵌入式条状声光波导区域，另外，在基底材料上还设置有：压焊电极、叉指电极以及跨越所述声光波导区域上方的桥连电极；所述叉指电极的电极结构分成两组，分别位列于所述声光波导区域的上下两侧，其间距小于6个声波波长，所述压焊电极作为接入输入电压信号端，使通过该压焊电极上的电压加在所述叉指电极上，从而通过压电效应激发声波，所述两组叉指电极之间通过所述桥连电极相连穿越所述声光波导区域。