[发明专利]一种微光机电陀螺中的桥接型声表面波换能器

权利要求书

1.一种微光机电陀螺中的桥接型声表面波换能器，其特征在于，在基底材料上 采用光刻、镀膜、扩散或刻蚀工艺制成嵌入式条状声光波导区域，另外，在基底材 料上还设置有：压焊电极、叉指电极以及跨越所述声光波导区域上方的桥连电极；

所述叉指电极的电极结构分成两组，分别位列于所述声光波导区域的上下两侧， 其间距小于6个声波波长，所述压焊电极作为接入输入电压信号端，使通过该压焊 电极上的电压加在所述叉指电极上，从而通过压电效应激发声波，所述两组叉指电 极之间通过所述桥连电极相连穿越所述声光波导区域。

2.根据权利要求1所述的微光机电陀螺中的桥接型声表面波换能器，其特征在 于，所述基底材料采用声光波导介质，包括：LiNbO₃、PbMoO₄、GaAs、Si、TeO₂晶体或合成有机材料。

3.根据权利要求1所述的微光机电陀螺中的桥接型声表面波换能器，其特征在 于，所述声光波导区域利用钛扩散技术在基底材料上制成嵌入式条状。