[发明专利]一种单片集成微型透镜及其制作方法有效
| 申请号： | 200910073947.4 | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101504468A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 蔡道民;李献杰;曾庆明;高向芝;尹顺政;赵永林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;H01L33/00;H01S5/02;H01S5/026;H01L31/0232 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050051河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单片集成微型透镜，包括基板和微型透镜，其特征在于，所述微型透镜位于基板的凹坑内，其制作方法，包括以下工序：1)在基板的一面形成一凹坑；2)用回流光刻胶填充凹坑，然后涂覆顶层掩蔽用光刻胶；3)将凹坑上的光刻胶形成一圆台状的光刻胶柱；4)去除顶层掩蔽用光刻胶；5)应用回流工艺熔化光刻胶柱，形成微型透镜。与现有集成微型透镜相比，本发明具有透镜形状好、牢靠性好和可批量生产等特点，可广泛用于发光管、激光器、光探测器等光通讯器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 集成 微型 透镜 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种单片集成微型透镜，包括基板和微型透镜，其特征在于：所述微型透镜位于基板的凹坑内。
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