[发明专利]空心医用金属微针的制备方法有效
| 申请号： | 200910055956.0 | 申请日： | 2009-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN101623535A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;闫肖肖;杨春生;唐刚;芮岳峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种生物医学工程技术领域的空心医用金属微针的制备方法，首先通过光刻在双抛氧化硅片上开出硅刻蚀窗口；湿法刻蚀窗口中的硅得到四棱锥空腔；接着在硅片上甩负胶填充四棱锥空腔，通过负胶厚度来调整微针的高度；然后选择特定的掩膜版曝光去除倒四棱锥内的负胶，得到不同形状的微针空腔；在微针空腔内溅射金属薄膜作为导电层，并在导电层上电镀金属层；最后开出微针内微针通孔，并去除硅和负胶，以得到不同形状的空心金属微针。本发明采用硅与非硅复合方法制备空心金属微针，加工成本低。通过曝光可控制微针针尖的形状，改善微针刺入皮肤的效果；还能有效的控制微针的高度，改善微针的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 空心 医用 金属 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种空心医用金属微针的制备方法，其特征在于，首先通过光刻在双抛氧化硅片上开出硅刻蚀窗口；湿法刻蚀窗口中的硅得到四棱锥空腔；接着在硅片上甩负胶填充四棱锥空腔，通过负胶厚度来调整微针的高度；然后选择特定的掩膜版曝光去除倒四棱锥内的负胶，得到不同形状的微针空腔；在微针空腔内溅射金属薄膜作为导电层，并在导电层上电镀金属层；最后开出微针内微针通孔，并去除硅和负胶，以得到不同形状的空心金属微针。
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