[发明专利]一种双频激光干涉仪有效
| 申请号： | 200910052180.7 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101566459A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 张志平;肖鹏飞;张晓文;池峰;陈勇辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种双频激光干涉仪，其包括第一偏振分光棱镜，在第一偏振分光棱镜的反射光方向设置有第二偏振分光棱镜、补偿镜和第一角锥棱镜，在第一偏振分光棱镜的透射光方向设置有四分之一波片与反射镜，第二角锥棱镜与第二偏振分光棱镜相对，设置于第一偏振分光棱镜的另一侧，其中，补偿镜的厚度为四分之一波片厚度的两倍。本发明提供的高稳定的双频激光干涉仪，一方面可提高反射光的消光比，在不增加偏振分光棱镜加工难度的前提下降低非线性误差，另一方面也最大限度地减小了热漂移误差，因此具有低热漂移误差、低非线性误差、装调简单、元件易加工等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双频 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种双频激光干涉仪，其特征在于，包括第一偏振分光棱镜，在所述第一偏振分光棱镜的反射光方向设置有第二偏振分光棱镜、补偿镜和第一角锥棱镜，在所述第一偏振分光棱镜的透射光方向设置有四分之一波片与反射镜，第二角锥棱镜与所述第二偏振分光棱镜相对，设置于所述第一偏振分光棱镜的另一侧，其中，所述补偿镜的厚度为所述四分之一波片厚度的两倍。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910052180.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：导电性液体的液位测量方法及系统
- 下一篇：叶片型面间隙专用检测仪
