[发明专利]一种双频激光干涉仪有效
| 申请号： | 200910052180.7 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101566459A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 张志平;肖鹏飞;张晓文;池峰;陈勇辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双频 激光 干涉仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种双频激光干涉仪，其特征在于，包括第一偏振分光棱镜，在所述第一偏振分光棱镜的反射光方向设置有第二偏振分光棱镜、补偿镜和第一角锥棱镜，在所述第一偏振分光棱镜的透射光方向设置有四分之一波片与反射镜，第二角锥棱镜与所述第二偏振分光棱镜相对，设置于所述第一偏振分光棱镜的另一侧，其中，所述补偿镜的厚度为所述四分之一波片厚度的两倍，所述第一偏振分光棱镜的入射面与所述第二偏振分光棱镜的入射面相互垂直。
2.根据权利要求1所述的双频激光干涉仪，其特征在于，所述补偿镜设置于所述第二偏振分光棱镜与所述第一角锥棱镜之间。
3.根据权利要求1所述的双频激光干涉仪，其特征在于，所述补偿镜设置于所述第一偏振分光棱镜与所述第二偏振分光棱镜之间。
4.根据权利要求1所述的双频激光干涉仪，其特征在于，所述第一角锥棱镜与所述第二角锥棱镜的数目可为多个且数目相等，用以调整多轴光束。
5.根据权利要求4所述的双频激光干涉仪，其特征在于，所述第一角锥棱镜与所述第二角锥棱镜的数目各为三个，用以调整三轴光束。
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