[发明专利]用于光刻机预对准系统的硅片放置装置有效
| 申请号： | 200910046307.4 | 申请日： | 2009-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN101487984A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 连国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明针对人工装载硅片时出现的硅片放置精度低且精度重复性差的问题，提出了一种用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，所述装置包括：支撑机构，连接至所述支撑机构的硅片夹持机构，以及用于驱动所述硅片夹持机构作水平向或垂向运动的驱动机构；所述硅片夹持机构由两个夹持部组成，所述两个夹持部在驱动机构的作用下相向或反向移动，当两个夹持部相向移动至相对接时，所述的两个夹持部组合成一个用于夹持硅片的容置空间。本发明的硅片放置装置可以模仿人工装载硅片的过程，实现硅片的夹持、移动、放置等步骤，由于采用了机械控制的方式，可以保证放置硅片的重复精度，极大提高了硅片预对准调试或者维护的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 对准 系统 硅片 放置 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括：支撑机构，与所述支撑机构相连接的硅片夹持机构，以及用于驱动所述硅片夹持机构作水平向或垂向运动的驱动机构；其特征在于，所述硅片夹持机构由两个夹持部组成，所述两个夹持部在驱动机构的作用下相向或反向移动，当两个夹持部相向移动至相对接时，所述的两个夹持部组合成一个用于夹持硅片的容置空间。
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