[发明专利]用于光刻机预对准系统的硅片放置装置

说明书

技术领域

本发明涉及硅片放置装置，尤其涉及用于光刻机预对准系统的硅片放置装置。

背景技术

在目前的光刻机硅片预对准时，硅片先经机械手放到预对准台上，然后在预对准台上进行旋转以实现预对准，由于机械手的机械操作，故能保证每次放置硅片时的精度都近乎相同。因此只需在首次放置硅片前调整好机械手相对于预对准台的位置，就能保证每次都能对硅片正确进行预对准。

然而当无法借助机械手将硅片放置至预对准台上，例如由于硅片传输系统出现故障，必需将机械手与预对准台脱开的情形发生时；再比如当单独对硅片进行预对准调试的情形出现时，如此几种情形发生，由于没有机械手，只能依靠人工将硅片放置至预对准台上进行预对准。人工操作，导致每次放置时的精度存在较大差异，由此极易造成多次的预对准失败，降低预对准的效率。而且一旦预对准失败，往往还难以区分失败的原因是因放置错误还是因硅片本身不符合要求所引起，如此对于预对准问题的判断将造成很大影响。

因此，开发一种将硅片放置至预对准台上的装置以取代机械手的操作，实已成为本领域技术人员亟待解决的技术课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，以实现能以相同的精度人工放置硅片。

为了达到上述的目的，本发明提供一种用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括：支撑机构，与所述支撑机构相连接的硅片夹持机构，以及用于驱动所述硅片夹持机构作水平向或垂向运动的驱动机构；所述硅片夹持机构由两个夹持部组成，所述两个夹持部在驱动机构的作用下相向或反向移动，当两个夹持部相向移动至相对接时，所述的两个夹持部组合成一个用于夹持硅片的容置空间；其中一个夹持部包括第一吊臂，其下端连接有用于承载硅片的空心且开口的承载环；另一个夹持部包括第二吊臂，其下端连接有用于配合所述承载环使用的空心且开口的卡固环，所述卡固环的开口与所述承载环的开口相对；所述承载环与所述卡固环都具有台阶结构，上边缘较窄，下边缘较宽，当卡固环与承载环对接后，其上边缘所围成的环形内径大于等于硅片的直径，下边缘所围成的环形内径小于硅片的直径，所述支撑机构的底部设置有固定孔，用于通过固定元件将所述硅片放置装置固定在光刻机预对准系统中。

可选的，所述支撑机构包括相对设置的两支撑架，以及套设在所述两支撑架上的横梁；所述硅片夹持机构连接至所述横梁。

可选的，所述驱动机构包括：用于驱动所述硅片夹持机构沿所述横梁作水平向运动的第一驱动机构，以及用于驱动所述硅片夹持机构沿所述支撑架作垂向运动的第二驱动机构。其中，所述第一驱动机构包括与所述硅片夹持机构相连接的水平向气缸，以及设置在横梁上的水平向导轨；所述第二驱动机构包括与所述横梁相连接的垂向气缸，以及在每一支撑架上设置的垂向导轨。

综上所述，本发明的用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，通过人工装载硅片，再以机械方式放置硅片，可以保证放置硅片的重复精度，极大提高了硅片预对准调试或者维护的效率。

附图说明

本发明的用于光刻机预对准系统的硅片放置装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本发明的硅片放置装置的结构示意图。

图2是本发明的硅片放置装置应用于预对准系统中的安装示意简图。

图3是本发明的硅片放置装置的使用操作流程图。

图4至图6是采用本发明的硅片放置装置放置硅片的示意图。

具体实施方式

针对现有技术中提到的人工装载硅片时出现的硅片放置精度低且精度重复性差的问题，本发明提出了一种用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，其可以模仿人工装载硅片的过程，实现硅片的夹持、移动、放置等步骤，由于采用了机械控制方式，可有效避免由人为因素产生的误差。

所述硅片放置装置包括支撑机构、硅片夹持机构和驱动机构。所述支撑机构用于支撑起整个硅片放置装置，并将其固定在预对准系统中；所述驱动机构用于驱动硅片夹持机构作水平向或垂向运动以完成硅片的移动及放置；所述硅片夹持机构连接至支撑机构，由两个夹持部组成，该两个夹持部在驱动机构的作用下可作相向或反向运动，当两个夹持部相向运动至相对接时，该两个夹持部组合成一个用于夹持硅片的容置空间。