[发明专利]预电离与主放电时序控制装置及方法有效

专利信息
申请号: 200910045239.X 申请日: 2009-01-13
公开(公告)号: CN101599613A 公开(公告)日: 2009-12-09
发明(设计)人: 曹昇炜 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: H01S3/134 分类号: H01S3/134
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈 蘅;李时云
地址: 201203上海市*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提出一种气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置与方法。气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置包括输入端、预电离放电回路、主放电回路、时间测量单元和控制单元。本发明通过保证预电离与主放电时间间隔的稳定性,进一步提高激光器放电的均匀性,为光刻机提供稳定的光源输出。
搜索关键词: 电离 放电 时序 控制 装置 方法
【主权项】:
1.一种气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置,其特征在于包括:输入端;预电离放电回路,包括主脉冲发生器、前级脉冲压缩电路、第一末级脉冲压缩电路和预电离电极,上述主脉冲发生器电性连接上述输入端,产生上述激光器放电所需的脉冲,上述前级脉冲压缩电路耦接上述主脉冲发生器,收窄上述脉冲宽度,上述第一末级脉冲压缩电路电性连接上述前级脉冲压缩电路,上述预电离电极电性连接上述第一末级脉冲压缩电路;主放电回路,包括上述主脉冲发生器、上述前级脉冲压缩电路、第二末级脉冲压缩电路和主放电电极,上述第二末级脉冲压缩电路电性连接上述前级脉冲压缩电路,主放电电极电性连接上述第二末级脉冲压缩电路;时间测量单元,电性连接上述预电离放电电极和上述主放电电极,测量预电离开始的第一时间和主放电开始的第二时间;以及控制单元,电性连接上述第一末级脉冲压缩电路和上述第二末级脉冲压缩电路的至少其中之一,且上述控制单元电性连接上述时间测量单元,根据第一时间和上述第二时间控制与控制单元电性连接的放电回路的电流。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司,未经上海微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200910045239.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top