[发明专利]预电离与主放电时序控制装置及方法

权利要求书

1.一种气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置，其特征在于包括：

输入端；

预电离放电回路，包括主脉冲发生器、前级脉冲压缩电路、第一末级脉冲压缩电路和预电离电极，上述主脉冲发生器电性连接上述输入端，产生上述激光器放电所需的脉冲，上述前级脉冲压缩电路耦接上述主脉冲发生器，收窄上述脉冲宽度，上述第一末级脉冲压缩电路电性连接上述前级脉冲压缩电路，上述预电离电极电性连接上述第一末级脉冲压缩电路；

主放电回路，包括上述主脉冲发生器、上述前级脉冲压缩电路、第二末级脉冲压缩电路和主放电电极，上述第二末级脉冲压缩电路电性连接上述前级脉冲压缩电路，主放电电极电性连接上述第二末级脉冲压缩电路；

时间测量单元，电性连接上述预电离放电电极和上述主放电电极，测量预电离开始的第一时间和主放电开始的第二时间；以及

控制单元，电性连接上述第一末级脉冲压缩电路和上述第二末级脉冲压缩电路的至少其中之一，且上述控制单元电性连接上述时间测量单元，根据第一时间和上述第二时间控制与控制单元电性连接的放电回路的电流。

2.根据权利要求1所述的时序控制装置，其特征在于其中上述时间测量单元测量上述主脉冲发生器的触发时间。

3.根据权利要求2所述的时序控制装置，其特征在于上述控制单元根据第一时间、上述第二时间和上述触发时间控制上述预电离放电回路的第一电流、上述主放电回路的第二电流和上述脉冲发生器的触发信号中的至少其中之一。

4.根据权利要求1所述的时序控制装置，其特征在于其中上述输入端为输入高压电源。

5.根据权利要求1所述的时序控制装置，其特征在于其中上述前级脉冲压缩电路通过一变压器与上述主脉冲发生器耦接。

6.根据权利要求1所述的时序控制装置，其特征在于其中上述时间测量单元包括测量上述第二时间的发光二极管和测量上述第一时间的拾波线圈。

7.根据权利要求1所述的时序控制装置，其特征在于其中上述主脉冲发生器包括：

固态开关，电性连接上述输入端；

第一磁开关，与上述固态开关为串联连接；

第一线圈，与上述第一磁开关为串联连接；以及

第一电容，与上述固态开关、上述磁开关，上述线圈为并联连接，且上述第一电容电性连接上述输入端。

8.根据权利要求7所述的时序控制装置，其特征在于其中上述前级脉冲压缩电路包括：

第二线圈，与上述第一线圈耦合；

第二电容，与上述第二线圈为并联连接；

第二磁开关；以及

第三电容，与上述第二磁开关为串联连接，

其中，上述第三电容和上述第二磁开关与上述第二电容为并联连接。

9.根据权利要求8所述的时序控制装置，其特征在于其中上述前级脉冲压缩电路为一级脉冲压缩电路。

10.根据权利要求1所述的时序控制装置，其特征在于其中上述前级脉冲压缩电路为多级脉冲压缩电路。

11.根据权利要求8所述的时序控制装置，其特征在于其中上述第一末级脉冲压缩电路包括：

上述第三电容；

第三磁开关；以及

第四电容，与上述第三磁开关串联连接，

其中，上述第四电容和上述第三磁开关与上述第三电容为并联连接，且上述预电离电极与上述第四电容为并联连接。

12.根据权利要求8所述的时序控制装置，其特征在于其中上述第二末级脉冲压缩电路包括：

上述第三电容；

第四磁开关；以及

第五电容，与上述第四磁开关串联连接，

其中，上述第五电容和上述第四磁开关与上述第三电容为并联连接，且上述主放电电极与上述第五电容为并联连接。