[发明专利]一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法

摘要

本发明公开了一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，它属于对光学薄膜参数进行测量的技术领域，其测量原理基于正、反两方向光束在折叠腔镜高反膜内的干涉效应。本发明以可调谐窄带激光器作为光源，首先通过连续波腔衰荡光谱技术测得折叠型光学无源腔的损耗谱曲线δ(v)，然后利用该损耗谱曲线δ(v)在其一个振荡周期光谱范围内的最大值与最小值之间的差值求得折叠腔镜处被测高反射率膜片膜内的散射和吸收总损耗S+A，即S+A＝[δ(v)max-δ(v)min]/2。本发明结构简单、精度高、测量过程简单便捷且结果无需标定，更重要的是它能为高反射率膜片各损耗项的分离提供必要条件。

主权项

一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：(1)将被测高反膜片与其它两片高反膜片(反射率均大于99.9％)组成一个“V”形稳定无源腔，并将被测高反膜片用于腔内光路折叠。将连续可调谐窄带激光引入此折叠腔内，通过扫描腔长或调谐激光频率实现激光与无源腔之间的频率匹配，当腔透射光强度大于设定阈值时，触发激光快速关断并同时记录此时的腔透射光信号。求得激光频率v0处腔透射光信号的衰减时间τ(v0)后，通过式(1)反演出折叠腔的总损耗值δ(v0)。式中L为总腔长，c为光速。 δ ( v 0 ) = L c · τ ( v 0 ) - - - ( 1 ) (2)以Δv为步长连续扫描激光频率v，测量并保存光谱扫描过程中光谱范围vmax‑vmin内的折叠腔损耗谱δ(v)。由腔损耗谱δ(v)在其一个振荡周期光谱范围内的最大值与最小值之间的差值求得被测高反膜膜内的散射和吸收损耗，即S+A＝[δ(v)max‑δ(v)min]/2。