[发明专利]一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法

权利要求书

1.一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：

(1)将被测高反膜片与其它两片高反膜片(反射率均大于99.9％)组成一个“V”形稳定无源腔，并将被测高反膜片用于腔内光路折叠。将连续可调谐窄带激光引入此折叠腔内，通过扫描腔长或调谐激光频率实现激光与无源腔之间的频率匹配，当腔透射光强度大于设定阈值时，触发激光快速关断并同时记录此时的腔透射光信号。求得激光频率v₀处腔透射光信号的衰减时间τ(v₀)后，通过式(1)反演出折叠腔的总损耗值δ(v₀)。式中L为总腔长，c为光速。

δ(v0)=Lc·τ(v0)---(1)]]>

(2)以Δv为步长连续扫描激光频率v，测量并保存光谱扫描过程中光谱范围v_max-v_min内的折叠腔损耗谱δ(v)。由腔损耗谱δ(v)在其一个振荡周期光谱范围内的最大值与最小值之间的差值求得被测高反膜膜内的散射和吸收损耗，即S+A＝[δ(v)_max-δ(v)_min]/2。

2.按照权利要求1所述的一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：

所述步骤(1)中折叠腔为对称或非对称结构。

3.按照权利要求1所述的一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：

所述步骤(1)中折叠角度为1～45°。

4.按照权利要求1所述的一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：

所述步骤(1)中激光从折叠腔镜处或者从折叠腔端面镜处入射到腔内。

5.按照权利要求1所述的一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：

所述步骤(1)中连续可调谐窄带激光的线宽小于腔内各模式间的间隔，波长为0.2～11μm。

6.按照权利要求1所述的一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：

所述步骤(2)中激光频率扫描步长Δv为腔纵模间隔Δv_q＝c/2L的0.001～0.1。

7.按照权利要求1所述的一种高反射率膜片膜内损耗参数的绝对测量方法，其特征在于：

所述步骤(2)中激光频率扫描范围v_max-v_min≥c/2l，其中l为折叠腔中较长的腔臂长。