[发明专利]一种雪崩放大长波量子阱红外探测器无效

专利信息
申请号: 200910040620.7 申请日: 2009-06-26
公开(公告)号: CN101599512A 公开(公告)日: 2009-12-09
发明(设计)人: 孙鲁;江灏 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L31/107 分类号: H01L31/107;H01L31/0352;H01L31/0304
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 代理人: 禹小明
地址: 510275广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种雪崩放大长波量子阱红外探测器,包括InP衬底(1)及通过分子束外延或金属有机化学气相沉积依次生长于InP衬底(1)上的下电极(2)、多个周期的多量子阱层(3)、上电极(4),所述多个周期的多量子阱层(3)中InP作为势垒层,InxGa1-xAsyP1-y作为量子阱层,当器件工作时,在InxGa1-xAsyP1-y量子阱层可以产生雪崩放大。本发明增强探测器的量子效率,提高器件的响应率,实现对长波红外光的探测。
搜索关键词: 一种 雪崩 放大 长波 量子 红外探测器
【主权项】:
1、一种雪崩放大长波量子阱红外探测器,包括InP衬底(1)及通过分子束外延或金属有机化学气相沉积依次生长于InP衬底(1)上的下电极(2)、多个周期的多量子阱层(3)、上电极(4),其特征在于:所述多个周期的多量子阱层(3)中InP作为势垒层,InxGa1-xAsyP1-y作为量子阱层。
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