[发明专利]提拉法晶体生长的等径控制方法无效
| 申请号： | 200910032165.6 | 申请日： | 2009-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101591802A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214174江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种提拉法晶体生长的等径控制方法，在晶体生长的不同阶段采用成像方式和称重方式获取晶体直径信号，然后将晶体直径反馈信号与晶体直径设定值比较获得信号误差，通过该信号误差的PID运算得到晶体机械拉速控制值或温度控制值。本发明在引晶阶段采用成像法读取直径信号，精度高，视野小，不需坩埚上升补偿；在随后的扩肩、等径和收尾阶段采用称重法获得直径信号，不需坩埚补偿，不受视野限制，信号稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 提拉法 晶体生长 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提拉法晶体生长的等径控制方法，在晶体生长的不同阶段采用不同的晶体直径信号获取方式，然后将获取的晶体直径值反馈信号与晶体直径设定值进行比较，获得信号误差值，然后通过该信号误差值的PID运算，得到晶体的机械拉速控制值或晶液的温度控制值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡市惠德晶体控制设备有限公司，未经无锡市惠德晶体控制设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910032165.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大桥主塔横梁施工支架预压的方法
- 下一篇：洗衣机以及控制洗衣机的方法
