[发明专利]提拉法晶体生长的等径控制方法无效
| 申请号： | 200910032165.6 | 申请日： | 2009-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101591802A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214174江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提拉法 晶体生长 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提拉法晶体生长的等径控制方法，在晶体生长的不同阶段采用不同的晶体直径信号获取方式，然后将获取的晶体直径值反馈信号与晶体直径设定值进行比较，获得信号误差值，然后通过该信号误差值的PID运算，得到晶体的机械拉速控制值或晶液的温度控制值。
2.按权利要求1所述提拉法晶体生长的等径控制方法，其特征是：在晶体生长的引晶阶段，采用成像法获取晶体的直径信号；在晶体生长的扩肩、等径和收尾阶段，采用称重法获取晶体的直径信号。
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