[发明专利]等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的装置有效
| 申请号： | 200910026063.3 | 申请日： | 2009-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101565820A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 赵青南;董玉红;卢秀强 | 申请（专利权）人： | 江苏秀强玻璃工艺有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 223800江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的装置在同一条轴线上依次设有屏蔽罩装置(A)、产生离子源电源引线(B)、气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)、套管(M)、离子体出口(K)，屏蔽罩装置(A)套在产生离子源电源引线(B)的外部，壳体(N)套在气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)的外部，电磁装置(F)套在壳体(N)的外部，法兰(I)位于套管(M)外侧，聚焦电极(H)连接在法兰(I)上，聚焦电压源(G)与聚焦电极(H)连接，聚焦等角度变动装置(L)壳体(N)的外部，气体入口(J)位于壳体(N)的外部。其可见光总透射率≥75％、方块电阻8～20Ω/□、厚度为400～1000nm的ZnO透明导电镀膜玻璃时，薄膜的绒度在4～9％之间。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 轰击 制备 氧化锌 透明 导电 镀膜 玻璃 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的装置，其特征在于在同一条轴线上依次设有屏蔽罩装置(A)、产生离子源电源引线(B)、气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)、套管(M)、离子体出口(K)，屏蔽罩装置(A)套在产生离子源电源引线(B)的外部，壳体(N)套在气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)的外部，电磁装置(F)套在壳体(N)的外部，法兰(I)位于套管(M)外侧，聚焦电极(H)连接在法兰(I)上，聚焦电压源(G)与聚焦电极(H)连接，聚焦等角度变动装置(L)壳体(N)的外部，气体入口(J)位于壳体(N)的外部。
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