[发明专利]等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的装置

权利要求书

1.一种等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的装置，其特征在于在同一条轴线上依次设有屏蔽罩装置(A)、产生离子源电源引线(B)、气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)、套管(M)、离子体出口(K)，屏蔽罩装置(A)套在产生离子源电源引线(B)的外部，壳体(N)套在气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)的外部，电磁装置(F)套在壳体(N)的外部，法兰(I)位于套管(M)外侧，聚焦电极(H)连接在法兰(I)上，聚焦电压源(G)与聚焦电极(H)连接，聚焦等角度变动装置(L)设置于壳体(N)的外部，气体入口(J)位于壳体(N)的外部。

2.根据权利要求1所述的等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的装置，其特征在于等离子体源产生等离子体轰击所述玻璃的角度可在法线方向±90°可调。

3.根据权利要求1所述的等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的装置，其特征在于真空度为1.0×10^-2～1Pa，电离气体的电压为100～10000伏，离子聚焦电压为100～10000伏和等离子体束流为≤500μA可调。