[发明专利]硅片切割机无效
申请号: | 200910025744.8 | 申请日: | 2009-03-09 |
公开(公告)号: | CN101502983A | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 陈世强;张宏兵;吕洪明 | 申请(专利权)人: | 无锡开源太阳能设备科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) | 代理人: | 顾吉云 |
地址: | 214072江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种硅片切割机,其针对不同的加工件,不需要频繁更换部件,且其在保证对硅片快速切割的同时保证了硅片表面质量以及合格率。其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割液的冷却装置,其特征在于:收放线结构包括卷绕电机和放线电机,所述卷绕电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮,所述放线轮上的钢丝线依次绕过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮,接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮;所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件连接结构、气缸和顶杆装置;硅片切割液的冷却装置包括壳体,所述壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔,位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道,所述冷却管道将所述切割液出液腔和进液腔连通。 | ||
搜索关键词: | 硅片 切割机 | ||
【主权项】:
1、硅片切割机,其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割液的冷却装置,其特征在于:收放线结构包括卷绕电机和放线电机,所述卷绕电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮,所述放线轮上的钢丝线依次绕过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮,接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮;所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件连接结构、气缸和顶杆装置,所述气缸安装于所述安装架上部,所述顶杆装置安装于所述安装架的导向孔内,所述气缸的导杆与所述顶杆装置连接,所述顶杆装置与所述工件连接结构连接;硅片切割液的冷却装置包括壳体,所述壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔,所述换热腔上端、下端分别开有冷却液进液口和出液口,所述切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、下端,位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道,所述冷却管道将所述切割液出液腔和进液腔连通;
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