[发明专利]硅片切割机

说明书

(一)技术领域

本发明涉及硅片切割设备技术领域，具体为硅片切割机。

(二)背景技术

传统的切割硅晶片设备通常采用磨床磨削切割，而磨削加工在工业上起着 重要作用，它的主要特点是产生的切屑细小，加工精度高，砂轮具有自锐性， 这使磨削具有一系列优点。现在业内对单晶硅脆性材料的超精密磨削加工作了 大量的实验研究，研究结果表明，对于单晶硅等脆性材料，其表面粗糙度主要 与砂轮的平均磨粒尺寸、进给量等因素有关。当采用超精密磨床并在Vs＝1 200m/min、f＝0-500μm/rev、ap＝0.1-10μm的 磨削条件下磨削时，只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于20μm，才能在塑 性磨削模式下加工出高质量的光滑表面，其磨削后的表面粗糙度为rms： 5.14nm、Ra：3。这样对于磨床而言，磨削不同的工件，需要更换砂 轮，而置换砂轮，一方面调整繁琐，另一方面，砂轮的修整占用时间，耗费时 间。

(三)发明内容

针对问题，本发明提供了一种硅片切割机，其针对不同的加工件，不需要 频繁更换部件，且其在保证对硅片快速切割的同时保证了硅片表面质量以及合 格率。

其技术方案是这样的：其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割 液的冷却装置，其特征在于：收放线结构包括卷绕电机和放线电机，所述卷绕 电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮，所述放线轮上的钢丝线依次绕 过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮，接着沿另一轮组 以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮；所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件 连接结构、气缸和顶杆装置，所述气缸安装于所述安装架上部，所述顶杆装置 安装于所述安装架的导向孔内，所述气缸的导杆与所述顶杆装置连接，所述顶 杆装置与所述工件连接结构连接；硅片切割液的冷却装置包括壳体，所述壳体 内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，所述换热腔上端、下端分别开 有冷却液进液口和出液口，所述切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、 下端，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道，所述冷却管道将所述切 割液出液腔和进液腔连通；

其进一步特征在于：

所述顶杆装置包括上顶杆、自由顶杆和下顶杆，所述上顶杆与所述气缸的 导杆连接，所述自由顶杆安装于所述安装架的导向孔，所述下顶杆穿过导套后 并通过其下端的轴肩与夹紧板扣合，所述夹紧板的上端为呈燕尾型的滑块，所 述滑块部位安装于由限位板和V型板围成的滑槽；所述夹紧板的下端从所述限 位板伸出后与连接板连接；在所述导套的上部压装有弹簧，所述弹簧套装于所 述下顶杆，所述弹簧的上端压装有导套，所述导套套装于所述下顶杆并并通过 螺母固定；

所述升降轮安装于转轴，所述转轴安装于摆杆的一端，所述摆杆的另一端 安装于支架；所述调整轮、升降轮和所述轮组分别设置于所述导轮的下侧和上 侧；所述轮组分别包括3个导向轮。

所述切割液进液腔和出液腔分别包括固定法兰和封头；所述固定法兰安装 于所述壳体两端；所述固定法兰与所述封头之间通过连接法兰连接；所述连接 法兰与所述固定法兰之间设置有垫片；出液腔的出液口和进液腔的进液口分别 设置于对应端的所述封头；所述固定法兰上开有通孔，所述管道分别插装于两 端所述固定法兰的所述通孔。

将上述结构用于切割机，切割硅片时，只要配以匹配的流体磨料，就可以 方便、快速的对硅片进行切割，效率高。

(四)附图说明

图1为本发明中收放线结构的主视图；

图2为1图中收放线结构的俯视图；

图3为本发明中工件夹紧释放装置的主视图；

图4为本发明中硅片切割液的冷却装置的主视图剖视图；

图5为图4中硅片切割液的冷却装置的俯视图；

图6为本发明主视的结构示意图；

图7为图6中本发明的B-B向的示意图。

(五)具体实施方式