[发明专利]一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关无效
| 申请号： | 200910023602.8 | 申请日： | 2009-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101656176A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;尹明;王政 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，包括衬底1，在衬底1上有一个呈反“Z”型的悬梁臂2，悬梁臂2的一端设置有接触点3，接触点3的下方是信号线4，在悬梁臂2与衬底1之间设置有下控制电极5，通过控制电压的设置，对下控制电极5中的浮栅8进行电子注入和释放，撤去电压时能保持双稳态，具有微型化、成本低、隔离性能好、静态功耗低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 电极 双稳态 悬臂梁 开关 | ||
【主权项】：
1、一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，包括衬底(1)，其特征在于，在衬底(1)上有一个呈反“Z”型的悬梁臂(2)，悬梁臂(2)的一端设置有接触点(3)，接触点(3)的下方是信号线(4)，在悬梁臂(2)与衬底(1)之间设置有下控制电极(5)。
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