[发明专利]一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关无效
| 申请号： | 200910023602.8 | 申请日： | 2009-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101656176A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;尹明;王政 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 电极 双稳态 悬臂梁 开关 | ||
【权利要求书】：
1、一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，包括衬底(1)，其特征在于，在衬底(1)上有一个呈反“Z”型的悬梁臂(2)，悬梁臂(2)的一端设置有接触点(3)，接触点(3)的下方是信号线(4)，在悬梁臂(2)与衬底(1)之间设置有下控制电极(5)。
2、根据权利要求1所述的悬臂梁开关，其特征在于，所述的下控制电极(5)包括下电极(6)，下电极(6)上面是隧道介质(7)包裹着的浮栅(8)，隧道介质(7)的上方是阻挡介质层(9)。
3、根据权利要求1所述的悬臂梁开关，其特征在于，所述的悬梁臂(2)的下表面可以设置一层金属介质(10)。
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