[发明专利]微机电传感器与制作方法有效
| 申请号： | 200910007884.2 | 申请日： | 2009-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101811657A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王传蔚 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02;B81C5/00;G01D5/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电传感器与制作方法。本发明的微机电传感器包含：部分挖空的基板；位于基板挖空部分上方的悬浮结构；以及与悬浮结构至少部分区隔开的上方结构，其中该悬浮结构与上方结构通过包含金属蚀刻的步骤而区隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微机电传感器制作方法，其特征在于，包含：提供一个基板；在该基板上形成内连线，该内连线包含一金属结构、一悬浮结构、及一待蚀刻结构体，该待蚀刻结构体用以将该金属结构与该悬浮结构至少部分区隔开；蚀刻该基板的背部，露出该待蚀刻结构体；以及蚀刻去除该待蚀刻结构体。
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