[发明专利]发光元件及其制造方法无效
申请号: | 200910006368.8 | 申请日: | 2009-02-16 |
公开(公告)号: | CN101807630A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 徐宸科;苏文正;庄家铭;欧震 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭示一种发光元件及其制造方法。该制造方法的步骤至少包含:提供基板,此基板具有第一主要表面与第二主要表面;形成多个发光叠层于上述基板的第一主要表面上;形成蚀刻保护层于发光叠层上;以不连续性激光在基板上形成多个不连续的孔洞;蚀刻多个不连续的孔洞;以及沿着多个不连续的孔洞劈裂基板以形成发光元件。上述发光元件的基板侧壁至少包含一第一结构面与一第二结构面,其中第一结构面为实质平整表面而第二结构面为实质不平整表面。 | ||
搜索关键词: | 发光 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光元件的制造方法,其步骤至少包含:提供基板,其中该基板具有第一主要表面与第二主要表面;形成多个发光叠层于该基板的第一主要表面上;形成蚀刻保护层于该些发光叠层上;以不连续性激光在该基板形成多个不连续的孔洞;蚀刻该多个不连续的孔洞;以及沿着该多个不连续的孔洞劈裂该基板。
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