[发明专利]探针的制作方法及其探针阵列

摘要

本发明公开了一种探针的制作方法及其探针阵列，此制作方法的步骤包含：提供一第一基板；进行第一基板的表面处理；披覆一金属垫层在第一基板上；披覆一光阻层在金属垫层上；在光阻层进行曝光及显影以形成多个凹陷区及多个凸出轮廓部；形成一电极层于凹陷区之内；研磨外露于凹陷区之外的电极层表面；移除光阻层，使电极层形成多个凹陷轮廓区；提供一第二基板；以及将第一基板的电极层对第二基板进行一微放电加工而形成多个探针体。

主权项

一种探针的制作方法，其特征在于包含：提供一第一基板；进行该第一基板的表面处理；披覆一金属垫层在该第一基板上；披覆一光阻层在该金属垫层上；在该光阻层进行曝光及显影以形成多个凹陷区及多个凸出轮廓部；形成一电极层在这些凹陷区之内；研磨外露于这些凹陷区之外的该电极层表面；移除该光阻层，使该电极层形成多个凹陷轮廓区；提供一第二基板；以及将该第一基板对该第二基板进行一微放电加工而形成多个探针体。