[发明专利]薄膜晶体管及包括该薄膜晶体管的平板显示装置有效
| 申请号： | 200910005696.6 | 申请日： | 2009-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101527321A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 河载兴;宋英宇;李锺赫;金容铎 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/32;G02F1/1368;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐江华;王珍仙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及包括含有非晶12CaO·7Al2O3(C12A7)的沟道层的薄膜晶体管以及包括该薄膜晶体管的平板显示装置。根据本发明，所述非晶沟道层可用C12A7在低温下形成。包括所述非晶沟道层的薄膜晶体管具有优异的电子迁移率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 包括 平板 显示装置 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜晶体管，包括：形成在基板上的栅极；与所述栅极绝缘的源极和漏极；与所述栅极绝缘并电连接所述源极和漏极的沟道层；和布置在所述沟道层和所述栅极之间的绝缘层，其中所述沟道层包括非晶12CaO·7Al2O3。
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