[发明专利]光阻液供应回收系统及光阻液回收方法无效
| 申请号： | 200910003780.4 | 申请日： | 2009-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101498895A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 长谷川透;竹堤俊纪;升芳明 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 深圳创友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 日本神奈川县川*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种与以往相比可大幅提高光阻液的回收效率，可降低回收成本并且提高光阻液的再利用率的系统及方法。光阻液供应回收系统包括：旋转涂布机250等光阻液涂布装置；作为规定容量的供应兼回收容器的专用容器1，其兼用于向光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；供应配管，其在供应光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接；以及回收配管253，其在回收已用过的光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接。由此，可省去使用者方面进行回收或再利用的设备负担，从而可大幅削减回收费用与劳力。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻液 供应 回收 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种光阻液供应回收系统，其包括：光阻液涂布装置；规定容量的供应兼回收容器，其兼用于向所述光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从所述光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；供应配管，其在供应所述光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接；以及回收配管，其在回收所述已用过的光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接。
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