[发明专利]光阻液供应回收系统及光阻液回收方法

权利要求书

1.一种光阻液供应回收系统，其包括：

光阻液涂布装置；

规定容量的供应兼回收容器，其兼用于向所述光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从所述光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；

供应配管，其在供应所述光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接；以及

回收配管，其在回收所述已用过的光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接。

2.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

在所述回收配管，连接用来回收所述已用过的光阻液及/或配管清洗液的回收泵。

3.根据权利要求1或2所述的光阻液供应回收系统，其中

在所述回收配管，连接着用来回收含有配管清洗液的溶液的清洗液回收槽，并且包括用于所述供应兼回收容器与所述清洗液回收槽的切换的切换单元。

4.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

包括在所述回收后，分析所述已用过的光阻液的组成的组成确认单元。

5.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

包括在所述回收后，进行所述已用过的光阻液的再利用的再利用单元。

6.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

所述供应兼回收容器是包括外部容器与附注入排出口包装袋的双重容器，所述外部容器具有开口部，所述附注入排出口包装袋用作所述外部容器的内袋，是将注入排出口接合于包装袋主体而形成，

所述包装袋主体可收纳于所述外部容器内，并且所述注入排出口可装卸于所述外部容器的开口部，

于所述注入排出口，在所述供应时安装用来连接所述供应配管的供应接头，在所述回收时安装用来连接所述回收配管的回收接头。

7.一种光阻液回收方法，其使用规定容量的专用容器，从光阻液供应设施向光阻液使用设施供应光阻液，并且

还将所述专用容器用作光阻液回收容器，用来回收所述光阻液使用设施中已用过的光阻液。

8.根据权利要求7所述的光阻液回收方法，其中

在所述回收后对所述已用过的光阻液加以再利用。

9.根据权利要求7所述的光阻液回收方法，其中

所述光阻液使用设施是包括光阻液涂布装置的设施，其利用实质上的密封系统，来进行向所述光阻液涂布装置供应所述光阻液的供应操作、以及回收来自所述光阻液涂布装置的所述已用过的光阻液的回收操作。

10.根据权利要求9所述的光阻液回收方法，其中

以所述光阻液涂布装置单位来进行所述供应操作及回收操作。

11.根据权利要求9所述的光阻液回收方法，其中

所述专用容器是包括具有开口部的外部容器以及所述外部容器的内袋的双重容器，

在所述供应操作中，从填充着所述光阻液的内袋向所述光阻液涂布装置供应所述光阻液，

在所述回收操作中，向实质上为空袋的所述供应操作后的内袋中，再次填充所述已用过的光阻液。